FLUORO福樂C003-Y真空吸筆C002-D-X-103

安全與維護

1. 泄漏檢查

●采用水中氣泡法檢測時，單個氣泡可忽略，連續(xù)氣泡需立即處理。

●防酸系列（如F002-X-02-PK）測試后需用氮氣吹干。

2.吸嘴保護

●禁止使用金屬工具接觸吸嘴，避免劃傷PEEK材質(zhì)。

●測試后需用異丙醇清潔吸嘴，防止化學(xué)殘留。

設(shè)備校準(zhǔn)與操作

1.真空泵驗證

●測試前需校準(zhǔn)真空泵輸出壓力（如FV-10C002-D-Y-161型號需穩(wěn)定在-0.1MPa）。

●使用真空度計檢測時，需確保傳感器精度≤±1%FS。

2.吸附力測試方法

●垂直拉力測試需采用標(biāo)準(zhǔn)砝碼（如4英寸晶圓需≥0.8kgf）。

●水平測試時需考慮摩擦系數(shù)，安全系數(shù)建議≥2.05。