福樂(lè)FLUORO福樂(lè)真空吸筆C002-D-X/C002-D-Y

一、測(cè)試環(huán)境控制

1.無(wú)塵環(huán)境

●測(cè)試需在ISO5級(jí)以上潔凈室進(jìn)行，避免微粒影響吸嘴密封性。

●導(dǎo)電型號(hào)（如90-C）需確保接地電阻≤10Q，防止靜電干擾。

2.溫濕度要求

●環(huán)境溫度應(yīng)控制在20±2°C，濕度≤40%RH，避免橡膠吸嘴變形。

二、設(shè)備校準(zhǔn)與操作

1.真空泵驗(yàn)證

●測(cè)試前需校準(zhǔn)真空泵輸出壓力（如FV-10C002-D-Y-161型號(hào)需穩(wěn)定在-0.1MPa）。

●使用真空度計(jì)檢測(cè)時(shí)，需確保傳感器精度≤±1%FS。

2.吸附力測(cè)試方法

●垂直拉力測(cè)試需采用標(biāo)準(zhǔn)砝碼（如4英寸晶圓需≥0.8kgf）。

●水平測(cè)試時(shí)需考慮摩擦系數(shù)，安全系數(shù)建議≥2.05。